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業(yè)務(wù)板塊

全自動(dòng)劃片機(jī)GR-1221

產(chǎn)品分類：

自動(dòng)劃片機(jī)

關(guān)鍵詞：

在線詢價(jià)

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源頭廠家，自主研發(fā)，支持定制，一年質(zhì)保，終身售后

產(chǎn)品描述

概述
設(shè)備可用于集成電路12吋晶圓、封裝體的精密劃切。該機(jī)型具備全自動(dòng)上下料、高低倍雙鏡頭自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、對(duì)向雙主軸切割、雙流體清洗干燥等特點(diǎn)，可針對(duì)封裝體切割擴(kuò)展UV照射單元。

性能指標(biāo)

主軸	功率kW	1.8
主軸	轉(zhuǎn)速范圍rpm	6000-60000
X軸	有效行程mm	310
X軸	速度范圍mm/s	0.1-1000
Y1 /Y2 軸	有效行程mm	310
	單步精度mm	0.002
	全程累積誤差mm	0.003/310
Z1/Z2軸	有效行程mm	20 (使用中2英寸切割刀片時(shí))
Z1/Z2軸	重復(fù)精度mm	0.001
e軸	最大轉(zhuǎn)角deg	380°
e軸	重復(fù)精度mm	±15〃
顯微鏡	高倍鏡頭倍數(shù)	7.5x
顯微鏡	低倍鏡頭倍數(shù)	0.75x
最大工作物尺寸	圓形工件尺寸	12英寸
最大工作物尺寸	方形工件尺寸mm	300x300
外形尺寸(WxDxH) mm		1310x1600x1860
設(shè)備重量kg		2500

產(chǎn)品特色

●適用于0300mm晶圓的對(duì)向式雙主軸高效率劃片機(jī)
●龍門式結(jié)構(gòu)，剛性高，穩(wěn)定性好
●標(biāo)配刀破檢測，非接觸測高裝置，自動(dòng)刀痕識(shí)別
●自主研發(fā)生產(chǎn)的6萬轉(zhuǎn)高速空氣靜壓電主軸
●真空節(jié)能，降低真空耗氣
●FRC功能，精確的切割水流量控制，保證切割品質(zhì)
●異常斷電后保護(hù)工件吸附
●安全互鎖，保證操作人員安全